Catalogue des produits et matériaux

Chemraz® FFKM

Chemraz® 513

Chemraz® 513 est conçu pour les équipements semi-conducteurs.

Joint Chemraz® 513

Chemraz® FFKM

Chemraz® 513

Semi-conducteur

Le Chemraz® 513 est recommandé pour une grande variété d'applications de traitement à sec d'équipements semi-conducteurs où la fiabilité des joints et une contamination minimale sont requises. Ce matériau offre d'excellentes performances dans les processus de plasma statique, de photolithographie et de diffusion où les températures ne dépassent pas 410 °F (210 °C) et où des charges d'étanchéité élevées ne sont pas utilisées. La dureté de ce matériau permet une certaine irrégularité dans la finition du matériel.

Caractéristiques et avantages

Bonne résistance au plasma et bonnes propriétés physiques
Contamination minimale
Excellents antécédents en tant que « produit universel »

Applications

Joints de porte
Joints de couvercle
Soupapes à fente
Joints d'étanchéité pour l'entrée de gaz
Joints de fenêtre
Joints d'étanchéité pour raccords KF
Joints pour vannes d'isolation

Configurations

Joints pour équipement de traitement de plaquettes sèches
Joints de porte
Soupapes à fente
Joints de fenêtre
Joints pour vannes d'isolation
Joints de couvercle
Joints d'étanchéité pour l'entrée de gaz
Joints d'étanchéité pour raccords KF

Ressources

Fiche technique Chemraz® 513

Fiche technique des joints Chemraz® 513 Extensis

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