Chemraz® 513
Chemraz® 513 適用於各類半導體設備乾式加工應用，尤其在需確保密封可靠性且污染量極低的工序中表現優異。此材料在靜態等離子體、光刻及擴散製程中具備卓越性能，適用溫度上限為 410°F（210°C），且不適用於高密封負荷工況。其硬度特性可容許部分硬體表面處理的不一致性。
功能與優勢
- 良好的等離子體耐受性與物理特性
- 最低污染
- 作為「通用產品」的卓越性能記錄
應用程式
- 門密封條
- 蓋密封件
- 縫隙閥
- 氣體入口密封件
- 窗戶密封條
- KF接頭密封件
- 隔離閥密封件
配置
- 乾式晶圓加工設備密封件
- 門密封條
- 縫隙閥
- 窗戶密封條
- 隔離閥密封件
- 蓋密封件
- 氣體入口密封件
- KF接頭密封件
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