Catálogo de productos y materiales

Chemraz® FFKM

Chemraz® 513

Chemraz® 513 está diseñado para equipos semiconductores.

Sello Chemraz® 513

Chemraz® FFKM

Chemraz® 513

Semiconductores

Chemraz® 513 se recomienda para una amplia variedad de aplicaciones de procesamiento en seco de equipos semiconductores en las que se requiere una sellado fiable con una contaminación mínima. El material ofrece un rendimiento excelente en procesos de plasma estático, fotolitografía y difusión en los que las temperaturas no superan los 410 °F (210 °C) y no se utilizan cargas de sellado elevadas. La dureza de este material permite cierta inconsistencia en el acabado del hardware.

Características y ventajas

Buena resistencia al plasma y buenas propiedades físicas.
Contaminación mínima
Excelente historial de rendimiento como «producto universal».

Aplicaciones

Juntas de puertas
Juntas de tapa
Válvulas de hendidura
Juntas de entrada de gas
Juntas para ventanas
Juntas para racores KF
Juntas de válvulas aislantes

Configuraciones

Sellos para equipos de procesamiento de obleas secas
Juntas de puertas
Válvulas de hendidura
Juntas para ventanas
Juntas de válvulas aislantes
Juntas de tapa
Juntas de entrada de gas
Juntas para racores KF

Recursos

Ficha técnica de Chemraz® 513

Ficha técnica de las juntas Chemraz® 513 Extensis

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