Chemraz® 513
Chemraz® 513 适用于各类半导体设备干法加工工艺，尤其在需要高密封可靠性且污染要求极低的场合。该材料在静态等离子体、光刻及扩散工艺中表现卓越，适用温度不超过410°F（210°C），且无需承受高密封负荷。其硬度特性可容忍部分硬件表面处理的不一致性。
功能与优势
- 良好的等离子体耐受性与物理特性
- 最低污染
- 作为“通用产品”拥有卓越的性能记录
应用程序
- 门密封条
- 盖密封件
- 狭缝阀
- 气体入口密封件
- 窗户密封条
- KF管件密封件
- 隔离阀密封件
配置
- 干法晶圆加工设备密封件
- 门密封条
- 狭缝阀
- 窗户密封条
- 隔离阀密封件
- 盖密封件
- 气体入口密封件
- KF管件密封件
需要更定制化的服务？
将此链接添加至您的询价单，我们将与您商讨具体需求。
将此链接添加至您的询价单，我们将与您商讨具体需求。