L'ONX® 600 de Greene Tweed, un composite à base de fluoropolymère renforcé de fibres de carbone, est un matériau hautement résistant et d'une grande pureté qui résiste aux acides forts à haute température. Utilisé dans le nettoyage des plaquettes, l'ONX® 600 résiste aux solutions de nettoyage SPM (peroxyde sulfurique, Piranha), SC1 (hydroxyde d'ammonium-peroxyde), SC2 (HCl-peroxyde) et HF dilué. ONX® 600 est recommandé pour les composants de précision, il est stable à des températures de traitement humide allant jusqu'à 260 °C (500 °F) et il est suffisamment pur pour les applications qui doivent entrer en contact avec le bord de la plaquette. De plus, le silicium étant plus dur que l'ONX® 600, les dommages aux bords et les particules sont minimisés. Enfin, ONX® 600 est électriquement conducteur, ce qui permet d'éliminer les charges statiques causées par les actions de pulvérisation par centrifugation, protégeant ainsi les caractéristiques délicates des dispositifs à semi-conducteurs.

Caractéristiques et avantages

Thermiquement stable – aucune déformation jusqu'à une exposition à 260 °C (500 °F) ou avec des cycles de température
Haute pureté – ions dans la plage des ppb faibles
Résistant aux acides forts, aux bases et aux solvants
Conducteur électrique pour protéger contre les décharges électrostatiques liées au processus
Faible coût

Applications

Les matériaux ONX® 600 sont conçus pour être utilisés dans une large gamme d'applications. Quelle que soit la difficulté de l'environnement, notre équipe travaille avec vous pour déterminer la solution la mieux adaptée à votre projet.

Les applications comprennent :

Assemblages de mandrins de précision pour plaquettes
Pinces pour plaquettes
Broches pour plaquettes
Vis

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