El ONX® 600 de Greene Tweed, un compuesto reforzado con fibra de carbono a base de fluoropolímeros, es un material de alta resistencia y pureza que resiste productos químicos ácidos fuertes a altas temperaturas. Utilizado en la limpieza de obleas, ONX® 600 es resistente a soluciones de limpieza SPM (peróxido sulfúrico, Piranha), SC1 (hidróxido de amonio-peróxido), SC2 (HCl-peróxido) y HF diluido. ONX® 600 se recomienda para componentes de precisión, es estable a temperaturas de proceso húmedo de hasta 260 °C (500 °F) y es lo suficientemente puro para aplicaciones que deben entrar en contacto con el borde de la oblea. Además, dado que el silicio es más duro que ONX® 600, se minimizan los daños en los bordes y las partículas. Por último, ONX® 600 es eléctricamente conductor para eliminar las cargas estáticas causadas por las acciones de rotación y pulverización, protegiendo las delicadas características de los dispositivos semiconductores.

Características y ventajas

Térmicamente estable: sin deformación hasta una exposición de 260 °C (500 °F) o con ciclos de temperatura.
Alta pureza: iones en el rango bajo de ppb.
Resistente a ácidos fuertes, bases y disolventes.
Conductor eléctrico para proteger contra descargas electrostáticas relacionadas con el proceso.
Bajo costo

Aplicaciones

Los materiales ONX® 600 están diseñados para utilizarse en una amplia gama de aplicaciones. Independientemente de lo exigente que sea el entorno, nuestro equipo trabajará con usted para determinar la solución adecuada para cada trabajo.

Las aplicaciones incluyen:

Conjuntos de soportes de precisión para obleas
Pinzas para obleas
Pines de oblea
Tornillos

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