ONX® 600
格林特威德的ONX® 600是一種以氟聚合物為基材、碳纖維增強的複合材料，具備高強度與高純度特性，能在高溫環境下耐受強酸化學物質。 應用於晶圓清洗領域時，ONX® 600 具備抗硫酸過氧化物（Piranha）、SC1（氫氧化銨過氧化物）、SC2（鹽酸過氧化物）及稀氫氟酸清洗液的特性。 ONX® 600 適用於精密元件，在濕法製程溫度達 260°C (500°F) 仍保持穩定，其純度足以滿足晶圓邊緣接觸應用需求。此外，由於矽的硬度高於 ONX® 600，可將邊緣損傷與微粒產生降至最低。 最後，ONX® 600 具備導電性，可消除旋轉噴灑動作產生的靜電荷，保護半導體裝置的精密結構。
功能與優勢
- 熱穩定性——在260°C（500°F）環境下或經受溫度循環時均不變形
- 高純度——離子含量低至ppb級別
- 耐受強酸、強鹼及溶劑
- 具有導電性，以防止製程相關的靜電放電
- 低成本
應用程式
ONX® 600 材料專為廣泛應用場景設計。無論環境條件如何嚴苛，我們的團隊都將與您攜手，為任務量身打造最適切的解決方案。
應用範圍包括：
- 精密晶圓夾具組件
- 晶圓夾具
- 晶圓針腳
- 螺絲
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