그린 트위드의 ONX® 600은 불소수지 기반의 탄소섬유 강화 복합재로, 고온에서 강한 산성 화학물질에 견디는 고강도·고순도 소재입니다. 웨이퍼 세정에 사용되는 ONX® 600은 SPM(황산-과산화수소, 피라냐), SC1(수산화암모늄-과산화수소), SC2(염산-과산화수소) 및 희석 HF 세정액에 대한 내성을 지닙니다. ONX® 600은 정밀 부품에 권장되며, 최대 260°C(500°F)의 습식 공정 온도에서도 안정적이며, 웨이퍼 가장자리와 접촉해야 하는 응용 분야에 충분히 순수합니다. 또한 실리콘이 ONX® 600보다 경도가 높아 가장자리 손상과 입자 발생이 최소화됩니다. 마지막으로, ONX® 600은 전기 전도성을 지녀 스핀-스프레이 작용으로 인한 정전기를 제거하여 반도체 장치의 미세 구조를 보호합니다.

기능 및 장점

열적 안정성 – 260°C(500°F)까지의 노출 또는 온도 사이클링 시 변형 없음
고순도 – ppb 단위의 낮은 농도 범위 내 이온성 물질
강산, 강염기 및 용매에 대한 내성
전기 전도성을 통해 공정 관련 정전기 방전을 방지합니다.
저비용

응용 프로그램

ONX® 600 소재는 다양한 응용 분야에 걸쳐 사용될 수 있도록 설계되었습니다. 환경이 아무리 까다롭더라도, 저희 팀은 고객과 협력하여 작업에 적합한 솔루션을 결정합니다.

응용 분야는 다음과 같습니다:

정밀 웨이퍼 척 어셈블리
웨이퍼 클램프
웨이퍼 핀
나사

더 맞춤화된 것이 필요하신가요?
견적서에 이 내용을 추가해 주시면 요구사항을 논의해 드리겠습니다.