ONX® 600
格林特威德公司的ONX® 600是一种基于氟聚合物、碳纤维增强的复合材料，作为高强度、高纯度材料，能在高温下耐受强酸化学环境。 在晶圆清洗领域，ONX® 600可耐受SPM（硫酸-过氧化氢，俗称"鲸鱼酸"）、SC1（氢氧化铵-过氧化氢）、SC2（盐酸-过氧化氢）及稀氢氟酸清洗溶液。 ONX® 600 推荐用于精密部件，在高达 260°C (500°F) 的湿法工艺温度下保持稳定，其纯度足以满足必须接触晶圆边缘的应用需求。此外，由于硅的硬度高于 ONX® 600，可最大限度减少边缘损伤和颗粒产生。 最后，ONX® 600具备导电性，可消除旋转喷洒操作产生的静电荷，从而保护半导体器件的精密结构。
功能与优势
- 热稳定性——在260°C（500°F）环境下或温度循环条件下均无变形
- 高纯度——离子浓度低至ppb级
- 耐强酸、强碱及强溶剂
- 具有导电性，以防止与工艺相关的静电放电
- 低成本
应用程序
ONX® 600材料专为广泛应用场景设计。无论环境条件多么严苛，我们的团队都将与您携手，为您量身定制最优解决方案。
应用包括：
- 精密晶圆夹具组件
- 晶圆夹具
- 晶圆引脚
- 螺丝
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