ONX® 600
グリーン・トゥイード社のONX® 600は、フッ素樹脂ベースの炭素繊維強化複合材であり、高温下での強酸性化学薬品に耐える高強度・高純度材料です。 ONX® 600は、ウェーハ洗浄に使用され、SPM（硫酸過酸化物、ピラニア）、SC1（水酸化アンモニウム過酸化物）、SC2（塩酸過酸化物）、および希HF洗浄液に耐性があります。 精密部品に推奨されるONX® 600は、260°C（500°F）までのウェットプロセス温度に安定し、ウェーハエッジに接触する用途にも十分な純度を有します。さらに、シリコンはONX® 600よりも硬度が高いため、エッジ損傷やパーティクルの発生を最小限に抑えます。 最後に、ONX® 600は電気伝導性を有するため、スピン・スプレー動作による静電気を除去し、半導体デバイスの微細構造を保護します。
特長と利点
- 熱的に安定 – 260°C（500°F）までの暴露または温度サイクル下でも変形なし
- 高純度 – 低ppbレベルのイオン性
- 強酸、強アルカリ、および溶剤に耐性がある
- プロセス関連の静電気放電から保護するための導電性
- 低コスト
アプリケーション
ONX® 600材料は、幅広い用途での使用を想定して設計されています。環境がどれほど過酷であっても、当社のチームはお客様と協力し、その仕事に最適なソリューションを決定します。
用途には以下が含まれます：
- 精密ウェーハチャックアセンブリ
- ウエハクランプ
- ウエハーピン
- ネジ
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