Chemraz® 551

Mit seiner breiten chemischen Beständigkeit eignet sich Chemraz® 551 ideal als universelles Dichtungsmaterial für die wässrige und trockene Halbleiterwaferverarbeitung sowie für Chemikalien-/DI-Wasserverteilungssysteme. Mit dem niedrigsten Ausgasungsprofil für Perfluorelastomermaterialien in Hochtemperaturanwendungen sorgt Chemraz® 551 für eine sauberere Prozessumgebung. Aufgrund seiner reduzierten Oberflächenhaftung kann es für semidynamische und statische Anwendungen eingesetzt werden. Chemraz® 551 bleibt bei Betriebstemperaturen von bis zu 572 °F (300 °C) stabil und behält dabei seine außergewöhnliche Druckverformungsrest.

Merkmale und Vorteile

Breite chemische Verträglichkeit
Hohe Temperaturbeständigkeit (bis zu 600 °F/316 °C)
Hervorragende Druckverformungsrestwerte gewährleisten die Dichtungsintegrität bei großen Temperatur- und Druckschwankungen sowie Vibrationen.
Die Bandbreite der Möglichkeiten ermöglicht die Standardisierung auf ein Material und reduziert die Anzahl der Lagerartikel.
Längere und bessere Dichtungsintegrität bei Dichtungsanwendungen
Geringere Gesamtbetriebskosten der Anlage
Weltklasse-Sauberkeit in Halbleiter- und Nassanwendungen

Anwendungen

Kammerdichtungen
Ausgabedichtungen
Pass- und Verbindungsdichtungen
Filterdichtungen
Gas-Einlass-/Auslassdichtungen
Dichtungen
Absperrventil-Dichtungen
Absperrventil-Dichtungen
Dichtungen für Reaktionskammerdeckel
Reglerdichtungen
Dichtungen in unmittelbarer Nähe zu Hochtemperatur-Wasserheizungen
Schlitzventildichtungen
Rohrverschlusskappen
Ventildichtungen

Konfigurationen

Atomlagenabscheidung
Elektrochemische Beschichtung
Epitaxiale Abscheidung
LPCVD (Siliziumnitrid, Siliziumoxid)
Vorreinigung der Photolithografie-Bahn
RTP (Glühen, Oxidation, Nitrierung, Silizidierung)
Silizium-Wasser-Ingot-Züchtung
SOI-Tempern
Typische Ätz- und Abscheidungsplasmagase, einschließlich NF3 und O2
Thermische CVD
Nassreinigung (Batch und Einzelwafer)
Nassätzen (Oxid, Nitrid, Metall)
Nasse Fotolackabstreifung (Säure, Lösungsmittel)

Temperaturbereich

–18 °C bis 324 °C (0 °F bis 615 °F)

Für Anwendungen, die extremen Temperaturen, hohem Druck oder besonders anspruchsvollen Betriebsbedingungen ausgesetzt sind, liefert unser globales Ingenieurteam vollständig maßgeschneiderte Lösungen. Da jede kritische Umgebung anders ist, werden diese Konstruktionen in enger Zusammenarbeit mit Ihnen entwickelt – lassen Sie uns Ihre Anforderungen besprechen, um die richtige Lösung zu finden.

Benötigen Sie etwas Individuelleres?
Fügen Sie dies Ihrem Angebot hinzu, damit wir Ihre Anforderungen besprechen können.