켐라즈® XRZ

Chemraz® XRZ는 과불소탄성고무로, 공격적인 현장 NF3 플라즈마 세정 공정에서 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 특별히 개발되었습니다. Chemraz® XRZ는 HDPCVD(고밀도 플라즈마 화학기상 증착), PECVD(플라즈마 강화 CVD) 및 최신 PEALD(플라즈마 강화 원자층 증착) 공정 챔버에서 일반적으로 발생하는 적용 과제를 견뎌냅니다. 독특한 분자 복합 구조 덕분에 Chemraz® XRZ는 불소 플라즈마 공정에 대해 가능한 최고 수준의 플라즈마 저항성을 제공하여 오염을 최소화합니다. 이는 씰 무결성 향상과 수명 연장으로 이어져 가동 중단 시간을 줄이고 웨이퍼 공정 수율을 높입니다. Chemraz® XRZ는 에칭, 증착(CVD, HDPCVD, PEALD), 원격 플라즈마 클리닝과 같은 정적 및 반동적 건식 웨이퍼 공정 응용 분야에 모두 사용할 수 있습니다. Chemraz® XRZ는 572°F(300°C)의 작동 온도에서도 탁월한 압축 변형률을 유지하며 안정성을 유지합니다.