켐라즈® 663

반도체

Chemraz® 663은 퍼플루오로엘라스토머(FFKM)로, 플라즈마 저항성과 진공 상태에서의 밀봉력 유지 능력이 중요한 저온 식각 및 증착 공정(예: 정전기 척 어셈블리)에 견딜 수 있도록 설계되었습니다.

기능 및 장점

저온에서의 탁월한 플라즈마 성능

응용 프로그램

증언
전도체 에칭
유전체 식각
정전기 척 (ESC)
저온 진공 환경

구성

정전기 척 (ESC)
저온
진공 환경

온도 범위

–40°C ~ 180°C (–40°F ~ 356°F)

극한 온도, 고압 또는 특수한 가혹 환경에서 작동하는 애플리케이션을 위해 당사의 글로벌 엔지니어링 팀은 완전히 맞춤형 설계 솔루션을 제공합니다. 모든 중요 환경이 서로 다르기 때문에, 이러한 설계는 고객과의 긴밀한 협력을 통해 개발됩니다. 최적의 솔루션을 구축하기 위해 귀사의 요구 사항을 논의해 보십시오.

더 맞춤화된 것이 필요하신가요?
견적서에 이 내용을 추가해 주시면 요구사항을 논의해 드리겠습니다.