Chemraz® 663

Chemraz® 663, ein Perfluorelastomer (FFKM), wurde entwickelt, um Anwendungen bei niedrigen Temperaturen im Bereich Ätzen und Abscheiden standzuhalten, bei denen Plasmabeständigkeit und die Fähigkeit, die Dichtkraft im Vakuum aufrechtzuerhalten, von entscheidender Bedeutung sind, wie beispielsweise bei elektrostatischen Spannvorrichtungen.

Merkmale und Vorteile

Außergewöhnliche Plasma-Leistung bei niedrigen Temperaturen

Anwendungen

Ablagerung
Leiter Ätzen
Dielektrisches Ätzen
Elektrostatischer Spannfutter (ESC)
Niedertemperatur-, Vakuumumgebungen

Konfigurationen

Elektrostatischer Spannfutter (ESC)
Niedrige Temperatur
Vakuumumgebungen

Temperaturbereich

–40 °C bis 180 °C (–40 °F bis 356 °F)

Für Anwendungen, die extremen Temperaturen, hohem Druck oder besonders anspruchsvollen Betriebsbedingungen ausgesetzt sind, liefert unser globales Ingenieurteam vollständig maßgeschneiderte Lösungen. Da jede kritische Umgebung anders ist, werden diese Konstruktionen in enger Zusammenarbeit mit Ihnen entwickelt – lassen Sie uns Ihre Anforderungen besprechen, um die richtige Lösung zu finden.

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Fügen Sie dies Ihrem Angebot hinzu, damit wir Ihre Anforderungen besprechen können.