Chemraz® G57
您是否需要定制设计的晶圆加工密封件，以满足苛刻的干式等离子系统需求？Chemraz® G57凭借其独特配方，显著提升了抗等离子体性能并最大限度减少污染，无论在静态还是动态应用中，都能有效降低停机时间并提高晶圆加工良率。
Chemraz® G57是一种具有高温耐受性与卓越氧等离子体兼容性的四氟乙烯酮基氟橡胶（FFKM）化合物，具备优异的耐化学性，最高工作温度可达572°F（300°C）。
功能与优势
- 在多种腐蚀性化学环境中具有优异的耐等离子体性能
- 最高工作温度可达572°F / 300°C
- 微粒化程度最低
- 较低的硬度便于安装
- 动态应用中更低的粘附特性
- 提供O型圈、定制CXs和板材形式——供应不受任何限制
- 全球制造能力
应用程序
- 终端窗口
- 海豹
- 等离子体刻蚀
- 沉积
- 金属化
- 远程等离子清洗
- 干灰化
- 氧化
- 扩散
配置
- 终端窗口
- 钟罩密封件
- 阀门密封件
- KF管件密封件
- 窗户密封条
- 隔离阀密封件
- 盖密封件
- 气体入口密封件
- 开槽阀门密封件
- 腔室密封件
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