ケムラズ® G57
過酷なドライプラズマシステムの要求を満たすカスタム設計のウェーハ処理用シールが必要ですか？Chemraz® G57の独自の配合により、プラズマ耐性が向上し、汚染が最小限に抑えられます。これにより、静的および動的アプリケーションの両方で、ダウンタイムの削減とウェーハ処理歩留まりの向上が実現します。
Chemraz® G57は、高温耐性と優れた酸素プラズマ耐性を備えたFFKMコンパウンドであり、優れた耐薬品性と最高使用温度572°F（300°C）を誇ります。
特長と利点
- 様々な過酷な化学環境下における優れた耐プラズマ性
- 最高使用温度：572°F / 300°C
- 最小限の粒子化
- 硬度を低くして取り付けを容易にする
- 動的用途向けの低い付着特性
- Oリング、カスタムCX、スラブとして提供可能 – 入手制限なし
- グローバルな製造能力
アプリケーション
- エンドポイントウィンドウ
- シールズ
- ダイプラズマエッチング
- 供述
- メタライゼーション
- 遠隔プラズマ洗浄
- 乾式灰化
- 酸化
- 拡散
構成
- エンドポイントウィンドウ
- ベルジャーシール
- バルブシール
- KF継手用シール
- 窓のシール
- 遮断弁シール
- 蓋シール
- ガス入口シール
- スリットバルブシール
- チャンバーシール
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お見積りにこちらを追加いただければ、ご要件についてご相談いただけます。
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