Chemraz® G57

Benötigen Sie speziell entwickelte Dichtungen für die Waferbearbeitung, die den Anforderungen aggressiver Trockenplasmasysteme gerecht werden? Die einzigartige Zusammensetzung von Chemraz® G57 bietet eine verbesserte Plasmabeständigkeit und minimiert Verunreinigungen, was zu weniger Ausfallzeiten und höheren Erträgen bei der Waferbearbeitung sowohl in statischen als auch in dynamischen Anwendungen führt.

Chemraz® G57 ist ein FFKM-Verbundstoff mit hoher Temperaturbeständigkeit und ausgezeichneter O2-Plasmakompatibilität, der sich durch hervorragende chemische Beständigkeit und eine maximale Betriebstemperatur von 572 °F (300 °C) auszeichnet.