Chemraz® G57
您是否需要符合嚴苛乾式等離子系統需求的客製化晶圓加工密封件？Chemraz® G57憑藉其獨特配方，不僅提升抗等離子能力，更能有效降低污染，無論在靜態或動態應用中，皆能減少停機時間並提升晶圓加工良率。
Chemraz® G57 是一種具備高溫耐受性與卓越氧氣等離子體相容性的四氟乙烯酮基氟橡膠（FFKM）複合材料，擁有優異的化學抗性，最高工作溫度可達 572°F（300°C）。
功能與優勢
- 在多種侵蝕性化學環境中展現卓越的耐電漿性能
- 最高使用溫度可達572°F / 300°C
- 微量顆粒化
- 較低的硬度，便於安裝
- 動態應用中的較低黏著特性
- 提供O型環、客製化CX系列及板材形式——供應無限制
- 全球製造能力
應用程式
- 終端點視窗
- 海豹
- 離子氫化物等離子體刻蝕
- 沉積作用
- 金屬化
- 遠端等離子清潔
- 乾式灰化
- 氧化
- 擴散
配置
- 終端點視窗
- 鐘罩密封
- 閥門密封件
- KF接頭密封件
- 窗戶密封條
- 隔離閥密封件
- 蓋密封件
- 氣體入口密封件
- 切口閥門密封件
- 腔室密封件
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