Chemraz® XPE
Greene Tweed 的 Chemraz® XPE 具備卓越的抗氧氣等離子體性能，適用於多種應用場景，例如切片閥門門板、反應室蓋密封件及閘閥密封件。這種先進彈性體材料為半導體與太陽能產業提供替代方案，能有效取代在氧氣環境中易快速侵蝕的傳統產品。 憑藉對O2與CF4等離子體的卓越抗性，此材料可提升晶片良率並最大化產能。此外，XPE密封件能為客戶延長平均維修間隔時間(MTBR)，有效降低停機時間與維護成本。
功能與優勢
- 高溫耐受能力推動未來科技與次世代應用發展
- 卓越的氧氣等離子體抗性，從而提升產品完整性
- 高CF4血漿電阻
- 減少產品重量損失
- 減少維護與更換需求
- 優異的壓縮永久變形性能
應用程式
- 腔室與縫隙閥密封件
- 終端點視窗
- 氣體入口/出口密封件
- 閘閥與隔離閥密封件
- 反應物輸送系統密封件
- 反應室蓋密封件
配置
- 乾式晶圓加工設備密封件
- 腔室與縫隙閥密封件
- 終端點視窗
- 氣體入口/出口密封件
- 閘閥與隔離閥密封件
- 反應物輸送系統密封件
- 反應室蓋密封件
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