ケムラズ® XPE

グリーン・ツイード社のChemraz® XPEは酸素プラズマに対する耐性が極めて高く、スリットバルブドア、反応室蓋シール、ゲートバルブシールなど幅広い用途に使用可能です。この先進的なエラストマー材料は、酸素環境下で急速に劣化してしまう従来製品に代わる選択肢を半導体・太陽電池産業に提供します。酸素（O2）およびフッ化炭素（CF4）プラズマの両方に対する優れた耐性により、本材料はチップ歩留まりの向上と生産性の最大化を実現します。さらに、XPEシールはMTBR（平均修理間隔）を延長し、ダウンタイムとメンテナンスコストの削減に貢献します。

特長と利点

高温対応能力が将来の技術と次世代アプリケーションを実現する
優れた酸素プラズマ耐性による製品完全性の向上
高CF4血漿抵抗性
製品重量の減少
メンテナンスおよび交換の必要性の減少
優れた圧縮永久歪性能

アプリケーション

チャンバーとスリット弁シール
エンドポイントウィンドウ
ガス入口／出口シール
ゲート弁および遮断弁のシール
反応物供給システムのシール
反応室蓋シール

構成

ドライウエハー加工装置用シール
チャンバー＆スリット弁シール
エンドポイントウィンドウ
ガス入口／出口シール
ゲート弁および遮断弁のシール
反応物供給システムのシール
反応室蓋シール

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