Chemraz® XPE

Chemraz® XPE von Greene Tweed ist äußerst widerstandsfähig gegenüber O2-Plasma und kann in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, beispielsweise in Schlitzventiltüren, Reaktionskammerdeckeldichtungen und Absperrventildichtungen. Dieses fortschrittliche Elastomermaterial bietet der Halbleiter- und Solarindustrie eine Alternative zu herkömmlichen Produkten, die in sauerstoffhaltiger Umgebung schnell erodieren. Mit seiner ausgezeichneten Beständigkeit gegenüber O2- und CF4-Plasmen sorgt dieses Material für eine höhere Chipausbeute und maximierte Produktion. Darüber hinaus bieten XPE-Dichtungen den Kunden eine längere MTBR (mittlere Zeit zwischen Reparaturen), wodurch Ausfallzeiten und Wartungskosten reduziert werden.