켐라즈® XPE
그린 트위드의 Chemraz® XPE는 산소 플라즈마에 대한 내성이 매우 뛰어나며, 슬릿 밸브 도어, 반응실 뚜껑 씰, 게이트 밸브 씰 등 다양한 용도로 사용될 수 있습니다. 이 첨단 탄성체 소재는 산소 환경에서 빠르게 부식되는 기존 제품에 대한 대안을 반도체 및 태양광 산업에 제공합니다. 산소(O₂) 및 불화탄소(CF₄) 플라즈마 모두에 대한 탁월한 내성을 지닌 이 소재는 칩 수율 향상과 생산성 극대화를 가능하게 합니다. 또한 XPE 씰은 고객에게 평균 수리 간격(MTBR)을 연장시켜 가동 중단 시간과 유지보수 비용을 절감해 줍니다.
기능 및 장점
- 고온 대응 능력은 미래 기술과 차세대 응용 분야를 가능케 합니다
- 우수한 산소 플라즈마 저항성으로 인한 제품 무결성 향상
- 높은 CF4 혈장 저항
- 제품 중량 감소율 감소
- 유지보수 및 교체 요구 사항 감소
- 탁월한 압축 변형률 성능
응용 프로그램
- 실린더 및 슬릿 밸브 씰
- 엔드포인트 창
- 가스 입구/출구 씰
- 게이트 밸브 및 절연 밸브 씰
- 반응물 전달 시스템 밀봉 장치
- 반응기 뚜껑 밀봉재
구성
- 건식 웨이퍼 가공 장비 씰
- 실린더 및 슬릿 밸브 씰
- 엔드포인트 창
- 가스 입구/출구 씰
- 게이트 밸브 및 절연 밸브 씰
- 반응물 전달 시스템 밀봉 장치
- 반응기 뚜껑 밀봉재
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견적서에 이 내용을 추가해 주시면 요구사항을 논의해 드리겠습니다.
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