Chemraz® G13
Chemraz® G13是一种弹性体化合物，推荐用于各类半导体设备的密封应用。该材料在具有腐蚀性的干等离子体工艺中能提供高密封可靠性，连续工作温度可达220°C，适用于静态和动态密封场合。
功能与优势
- 优异的耐等离子体性和物理性能
- 最低污染
- 高热稳定性
- 低粘附特性
应用程序
- 门密封条
- 盖密封件
- 狭缝阀
- 气体入口密封件
- 窗户密封条
- KF管件密封件
- 隔离阀密封件
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