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Chemraz® G13
Chemraz® G13 ist eine Elastomermischung, die für eine Vielzahl von Dichtungsanwendungen in Halbleiteranlagen empfohlen wird
.
Sie bietet eine hohe Dichtungszuverlässigkeit in aggressiven Trockenplasmaprozessen mit kontinuierlichen Betriebstemperaturen
von bis zu 220 °C und kann sowohl an statischen als auch an dynamischen Dichtungsstellen eingesetzt werden.
Merkmale und Vorteile
- Hervorragende Plasmabeständigkeit und physikalische Eigenschaften
- Minimale Kontamination
- Hohe thermische Stabilität
- Geringe Klebeeigenschaften
Anwendungen
- Türdichtungen
- Deckelabdichtungen
- Schlitzventile
- Gas-Einlassdichtungen
- Fensterabdichtungen
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