ケムラズ® G13
Chemraz® G13は、半導体装置のシール用途に幅広く推奨されるエラストマーコンパウンドです。
過酷なドライプラズマプロセスにおいて、220°Cまでの連続使用温度
で高いシール信頼性を提供し、静的および動的シール位置の両方で使用できます。
特長と利点
- 優れた耐プラズマ性と物理的特性
- 最小限の汚染
- 高い熱安定性
- 低付着特性
アプリケーション
- ドアシール
- 蓋シール
- スリット弁
- ガス入口シール
- 窓のシール
- KF継手用シール
- 遮断弁シール
リソース
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