Chemraz® G13
Chemraz® G13 是一種彈性體化合物，適用於各類半導體設備密封應用。此產品在具侵蝕性的乾式等離子體製程中能提供高度密封可靠性，連續操作溫度可達 220°C，適用於靜態與動態密封位置。
功能與優勢
- 優異的耐電漿性與物理特性
- 最低污染
- 高熱穩定性
- 低黏著特性
應用程式
- 門密封條
- 蓋密封件
- 縫隙閥
- 氣體入口密封件
- 窗戶密封條
- KF接頭密封件
- 隔離閥密封件
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