Chemraz® 629
Chemraz® 629 FFKM由Greene Tweed公司专门研发，旨在满足苛刻等离子体系统的严苛要求。其独特配方在氧气和氟等离子体工艺中提供增强的耐等离子体性能，从而实现最低污染、更少停机时间和更高的晶圆加工良率。
功能与优势
- 在氧气和氟气环境中具有卓越的耐等离子体性能
- 微量颗粒物和表面降解
- 高纯度，极低金属离子含量
- 高弹性特性使其能紧密贴合硬件，并简化密封件的安装过程。
应用程序
- 终端窗口
- 钟罩密封件
- 阀门密封件
- KF管件密封件
- 窗户密封条
- 隔离阀密封件
- 盖密封件
- 气体入口密封件
- 开槽阀门密封件
- 腔室密封件
配置
- 开槽阀门密封件
- 盖密封件
- 终端窗口
- 阀门密封件
- 窗户密封条
- 隔离阀密封件
- 气体入口密封件
- 钟罩密封件
- KF管件密封件
温度范围
–20°C 至 260°C（–4°F 至 500°F）
对于面临极端温度、高压或特殊严苛工况的应用场景，我们的全球工程团队提供完全定制化的工程解决方案。由于每个关键环境都具有独特性，这些设计方案均通过与您紧密协作开发而成——让我们共同探讨您的需求，打造最适合的解决方案。
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