Chemraz® 629
Chemraz® 629 FFKM 係由 Greene Tweed 專為滿足侵蝕性等離子系統的嚴苛需求而研發。其獨特配方在氧氣與氟氣等離子製程中展現卓越的抗等離子性能，可有效降低污染物殘留、減少設備停機時間，並提升晶圓製程良率。
功能與優勢
- 在氧氣與氟氣環境中展現卓越的電漿抗性
- 微量微粒化與表面劣化
- 高純度，金屬離子含量極低
- 高彈性特性使其能貼合硬體結構，並使密封安裝更為簡便
應用程式
- 終端點視窗
- 鐘罩密封
- 閥門密封件
- KF接頭密封件
- 窗戶密封條
- 隔離閥密封件
- 蓋密封件
- 氣體入口密封件
- 切口閥門密封件
- 腔室密封件
配置
- 切口閥門密封件
- 蓋密封件
- 終端點視窗
- 閥門密封件
- 窗戶密封條
- 隔離閥密封件
- 氣體入口密封件
- 鐘罩密封
- KF接頭密封件
溫度範圍
–20°C 至 260°C（–4°F 至 500°F）
針對面臨極端溫度、高壓或特殊挑戰性操作環境的應用，我們的全球工程團隊提供完全客製化的解決方案。由於每個關鍵環境皆不相同，這些設計皆在與您密切協作下開發——讓我們共同探討您的需求，打造最合適的解決方案。
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