Chemraz® 629

Chemraz® 629 FFKM wurde von Greene Tweed speziell für die hohen Anforderungen aggressiver Plasmasysteme entwickelt. Seine einzigartige Zusammensetzung bietet eine verbesserte Plasmabeständigkeit in Sauerstoff- und Fluorplasmaprozessen, was zu minimaler Kontamination, weniger Ausfallzeiten und höheren Wafer-Verarbeitungserträgen führt.

Merkmale und Vorteile

Außergewöhnliche Plasmabeständigkeit in Sauerstoff- und Fluor-Umgebungen
Minimale Partikelbildung und Oberflächenverschleiß
Hohe Reinheit, sehr geringer Gehalt an Metallionen
Hohe Elastizität ermöglicht Anpassung an die Hardware und einfachere Installation der Dichtung

Anwendungen

Endpunktfenster
Glockendeckelverschlüsse
Ventildichtungen
KF-Fitting-Dichtungen
Fensterabdichtungen
Absperrventil-Dichtungen
Deckelabdichtungen
Gas-Einlassdichtungen
Schlitzventildichtungen
Kammerdichtungen

Konfigurationen

Schlitzventildichtungen
Deckelabdichtungen
Endpunktfenster
Ventildichtungen
Fensterabdichtungen
Absperrventil-Dichtungen
Gas-Einlassdichtungen
Glockendeckelverschlüsse
KF-Fitting-Dichtungen

Temperaturbereich

–20 °C bis 260 °C (–4 °F bis 500 °F)

Für Anwendungen, die extremen Temperaturen, hohem Druck oder besonders anspruchsvollen Betriebsbedingungen ausgesetzt sind, liefert unser globales Ingenieurteam vollständig maßgeschneiderte Lösungen. Da jede kritische Umgebung anders ist, werden diese Konstruktionen in enger Zusammenarbeit mit Ihnen entwickelt – lassen Sie uns Ihre Anforderungen besprechen, um die richtige Lösung zu finden.

Benötigen Sie etwas Individuelleres?
Fügen Sie dies Ihrem Angebot hinzu, damit wir Ihre Anforderungen besprechen können.