ケムラズ® 629

Chemraz® 629 FFKMは、グリーン・トゥイード社が腐食性の高いプラズマシステムの厳しい要求を満たすために特別に開発した製品です。その独自の配合により、酸素およびフッ素プラズマプロセスにおいて耐プラズマ性が向上し、汚染の最小化、ダウンタイムの削減、ウェハー加工歩留まりの向上を実現します。

特長と利点

酸素およびフッ素環境における卓越したプラズマ耐性
最小限の微粒子化と表面劣化
高純度、極めて低い金属イオン含有量
高い弾性により、ハードウェアへの適合性とシール取り付けの容易さを実現します

アプリケーション

エンドポイントウィンドウ
ベルジャーシール
バルブシール
KF継手用シール
窓のシール
遮断弁シール
蓋シール
ガス入口シール
スリットバルブシール
チャンバーシール

構成

スリットバルブシール
蓋シール
エンドポイントウィンドウ
バルブシール
窓のシール
遮断弁シール
ガス入口シール
ベルジャーシール
KF継手用シール

温度範囲

–20°C ～ 260°C（–4°F ～ 500°F）

極端な温度、高圧、または特に困難な作動環境に直面するアプリケーション向けに、当社のグローバルエンジニアリングチームは完全なカスタム設計ソリューションを提供します。あらゆる重要環境が異なるため、これらの設計はお客様との緊密な連携のもとで開発されます。最適なソリューション構築のため、ご要件についてご相談ください。

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