Chemraz® G20

Chemraz® G20 bietet hochleistungsfähige Vakuumdichtungen für statische und dynamische Anwendungen. Chemraz® G20-Dichtungen sind für den Einsatz in anspruchsvollen Umgebungen ausgelegt und gewährleisten optimale Leistung und Langlebigkeit. Ob es um die Aufrechterhaltung einer kritischen Vakuumleistung oder den Schutz kritischer plasma-basierter Prozesse geht, Chemraz® G20-Dichtungen bieten unvergleichliche Zuverlässigkeit. Chemraz® G20 ist ein erstklassiges, plasmabeständiges Material für den Einsatz in allen Prozessen der Speicher- und Logik-IC-Herstellung mit einer Leistungsfähigkeit, die über die 7-nm-Prozessintegrationstechnologie hinausgeht. Chemraz® G20 bietet Vakuumdichtungen für statische und dynamische Anwendungen in der Kammer, die typischerweise in O-Ringen verwendet werden.

Merkmale und Vorteile

Außergewöhnliche Fluorplasma-Beständigkeit bei hohen Temperaturen
Minimale Partikelbildung und Oberflächenabnutzung
Hohe Reinheit, sehr geringer Gehalt an Metallionen

Anwendungen

Kammerdichtungen
E-Siegel
Pendelventile
Statische O-Ringe
RPU-Ventile
Vorderlinien
Flang-/NW-/ISO-Anschlüsse

Konfigurationen

Kammerdichtungen
E-Siegel
Pendelventile
Statische O-Ringe
RPU-Ventile
Vorderlinien
Flang-/NW-/ISO-Anschlüsse

Temperaturbereich

–18 °C bis 324 °C (0 °F bis 615 °F)

Für Anwendungen, die extremen Temperaturen, hohem Druck oder besonders anspruchsvollen Betriebsbedingungen ausgesetzt sind, liefert unser globales Ingenieurteam vollständig maßgeschneiderte Lösungen. Da jede kritische Umgebung anders ist, werden diese Konstruktionen in enger Zusammenarbeit mit Ihnen entwickelt – lassen Sie uns Ihre Anforderungen besprechen, um die richtige Lösung zu finden.

Benötigen Sie etwas Individuelleres?
Fügen Sie dies Ihrem Angebot hinzu, damit wir Ihre Anforderungen besprechen können.