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제품 및 재료 카탈로그
Chemraz® FFKM
Chemraz® E38
켐라즈® 화이트 씰
Chemraz® FFKM

Chemraz® E38

반도체

Chemraz® E38은 밀봉 신뢰성과 최소한의 오염이 필수적인 고밀도 플라즈마 시스템 및 확산 공정을 위해 특별히 개발되었습니다. 우수한 화학적 호환성을 제공하며 다양한 공격성 화학 물질에 견딜 수 있습니다. 다양한 형상과 단면으로 제공되는 Chemraz® E38(
)은 동적 또는 정적 건식 공정 응용 분야에 필요한 다양성을 제공합니다. 슬릿 밸브에 권장되는 Chemraz® E38은 500°F(260°C)의 높은 작동 온도에서도 안정성을 유지합니다.

기능 및 장점
  • 최소한의 오염
  • 다양한 공격적인 화학 물질에 견딥니다
  • 특수 가공 기술로 인해 ID는 매우 큰 크기로 제작될 수 있습니다
  • 탁월한 물리적 특성
  • 낮은 금속 이온 함량
  • 무한한 디자인 유연성
응용 프로그램
  • 접착식 게이트 씰
  • 실린더 실
자원
Chemraz® E38 건식 플라즈마 식각 공정에서의 최소 오염
더 맞춤화된 것이 필요하신가요?
견적서에 이 내용을 추가해 주시면 요구사항을 논의해 드리겠습니다.
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