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製品・材料カタログ
ケムラズ® FFKM、エラストマー
ケムラズ® FFKM
FFKMは耐薬品性が向上し、ほぼすべての化学物質との相容性を有する
ケムラズ® FFKM、エラストマー

ケムラズ® FFKM

航空宇宙、防衛、エネルギー、産業オペレーション、ライフサイエンス、半導体

パーフルオロエラストマー(FFKM)は、標準的なFKMよりも高いフッ素含有量を有し、最高約325℃(617°F)までの耐熱性を特徴とします。FFKMは耐薬品性も向上しており、ほぼあらゆる化学物質との相性を示します。こうした高性能特性の組み合わせにより、FFKMシールは最も過酷な用途における最上位の選択肢となります。

特長と利点
  • 攻撃的なプラズマ、高温、フッ素、酸素に曝露された状態での高性能シール
  • 最も攻撃的な化学物質に対する広範な耐薬品性
  • あらゆる坑井流体、ガス、注入・処理薬品に対応
  • 高温、蒸気、プラズマ、急激なガス減圧など、様々な過酷な作動条件下における信頼性を実現するポートフォリオソリューション
  • Chemraz® FFKMは実地試験を経て、最も過酷な作動条件下においてもダウンタイムとメンテナンスを削減することが実証されています
アプリケーション

半導体:
グリーン・トゥイードの部品はCNC加工品です。半導体製造工場において、汚染は許容されません。そのためグリーン・トゥイードは、稼働時間の向上、汚染の低減、ウェハー歩留まりの向上を実現する半導体用途向けに特別に配合されたChemraz® FFKMコンパウンドを開発しました。

  • 導体エッチング
  • 誘電体エッチング
  • PECVD
  • ALD
  • RTP
  • ウェットクリーニング
  • チャンバーシール
  • スリットバルブとBSV
  • 振り子弁とゲート弁
  • エシールズ
  • 化学物質の供給

産業・エネルギー分野:
Chemraz® FFKM製品は、幅広い用途と産業分野で実績ある性能を発揮します。設備の故障が許されない場面では、グリーン・トゥイードをお選びください。主な用途:

  • メカニカルシール
  • ポンプとバルブ
  • 坑内掘削工具
  • 分析機器
  • コンプレッサー
  • 完成ツール
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